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此設(shè)備主要為晶圓背面自動打標而設(shè)計,可加工8寸及12寸晶圓。  

特殊的532nm綠色激光器用于在各種晶圓材料(金屬/聚酰亞胺涂層,裸硅研磨/非研磨)上進行軟標記(暗標記)或硬標記(白標記),以及透帶晶圓標記應(yīng)用。 用晶圓映射文件下載打標  

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